清朝初，武川县“为西土默特及乌盟四子王部落、喀尔喀右翼等三旗设立界堆分牧之地”。清嘉庆二十五年（1820）时，克克伊尔根（今武川县可可以力更镇）属归化城土默特左翼旗区域。清光绪二十九年（1903），析四子部落旗、茂明安旗、达尔罕旗交界的农业区设置武川抚民理事通判厅（治所寄驻归化城），隶属归绥道。

民国元年（1912）5月，改武川厅为武川县，改通判为知事，隶属绥远城将军监辖。民国3年（1914）1月，武川隶属绥远特区都统。同年8月，属绥远特区新设的绥远道（道尹）管辖。民国4年（1915），划归绥县北区的可可以力更镇归属武川县，县治所由归绥迁到该镇。民国8年（1919），划出武川县原辖达尔罕地、茂明安地归属固阳县管辖。

民国17年（1928）9月20日，武川县隶属绥远临时区政府（主席）管辖。民国18年（1929）1月，武川县隶属绥远省政府。同时，武川县署（知事）改为武川县政府（县长）。民国26年（1937）11月14日，伪武川县公署成立，隶属伪蒙古联盟自治政府所属巴彦塔拉盟管辖。