元至顺元年（1330），今乌审旗境属陕西行省延安路辖地，在今旗境南设察罕脑儿站。当时“站赤”为“元制”中“以通达边情，宣布号令”的驿站。明初，今旗境属东胜卫。明正德五年（1510）后，属蒙古鄂尔多斯万户的右翼伯速台、乌审二部牧地。明万历十年（1582）时，今旗境属“袄儿都司”辖地。

清顺治六年（1649），编为鄂尔多斯右翼前旗俗称乌审旗（当时辖境相当于今乌审旗的全部和陕西省榆林市、横山县、靖边县三县市长城以北地区及伊金霍洛旗一小部分地区），下设10参领、42佐领。清乾隆元年（1736），析旗境东部三参领区另置鄂尔多斯右翼前末旗（即札萨克旗）。

民国初年，旗制从清。民国3年（1914），乌审旗随伊克昭盟划归绥远特别区。