清光绪五年（1879）刊印的《山西通志》载：“萨拉齐厅在治西二百四十里，东西广二百二十里，南北袤一百里，东至多尔济河归化城界一百二十里，西至鄂博口乌拉特旗界一百里，南至黄河岸鄂尔多斯右翼后旗界二十里，北至后鄂博茂明安旗界八十里，东南到善岱村托克托厅境一百一十里，西南到黄草洼黄河岸鄂尔多斯左翼后旗界九十里，东北到白衡果尔山茂明安旗界一百二十里，西北到后五当沟乌拉特旗界七十里”。

另据《清史稿》载，当时萨拉齐厅“又兼辖鄂尔多斯左翼后旗地，广四百三十里，袤二百二十里”。

清光绪十年（1884），将萨拉齐理事通判改为抚民理事同知厅。

清光绪二十九年（1903），析萨拉齐厅后套地置五原厅。

民国元年（1912）5月，改萨拉齐抚民理事同知厅为萨拉齐县（县署知事），隶属归绥观察使。

民国3年（1914），萨拉齐县属绥远特别区都统所属绥远道管辖。同时，土默特旗改设总管。

民国9年（1920），析萨拉齐厅辖部分地区设置固阳设治局。

民国18年（1929）1月，绥远省政府成立，萨拉齐县和土默特旗隶属绥远省政府管辖。

民国26年（1937）12月，伪萨拉齐县公署和土默特旗均隶属伪蒙古联盟自治政府所属巴彦塔拉盟管辖；民国28年（1939），属伪蒙疆联合自治政府巴彦塔拉盟管辖。